高精度恒溫恒濕潔凈空調(diào),超高精空調(diào)機
佛山市佳以特冷熱設(shè)備有限公司從高精度、可靠性、節(jié)能性入手;研發(fā)生產(chǎn)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)(國家專利號:ZL.6)的高精度空調(diào)、高精度恒溫恒濕潔凈空調(diào),提供穩(wěn)定的溫度T±0.08℃(T=18-25℃),濕度RH±1%(RH=45-60%)的高精度空調(diào);高精度冷水機組和溫度T±0.1℃(T=10-25℃);超高精度空調(diào)產(chǎn)品、超高精度冷水機組及其系統(tǒng)的整體解決方案。
佛山市佳以特冷熱設(shè)備有限公司開發(fā)了先進人工智能模糊控制系統(tǒng);高精度冷、熱源平衡控制系統(tǒng)、高精度恒溫加濕系統(tǒng),空氣潔凈過濾系統(tǒng)HEPA,均取得國家專利保護。具有控制精度高,正常情況下能在設(shè)置溫度±0.1℃內(nèi)的變化;從開機到溫度平衡穩(wěn)定運行時間短;對空調(diào)進風(fēng)溫度變化要求低(進風(fēng)±2℃/H的情況下出風(fēng)口溫度能控制在±0.1℃/H內(nèi)),利用專利熱回收技術(shù),對溫度進行調(diào)控,相比采用電加熱可控硅控制普通高精度空調(diào)耗電極底,確保高精度空調(diào)長期可靠穩(wěn)定運行,機身采用304鏡面不銹鋼機殼滿足對室內(nèi)高級別潔凈度的需求。
佳以特高精度恒溫恒濕空調(diào)應(yīng)用于光學(xué)傳感器制造與測試環(huán)境,金屬納米級加工環(huán)境;高精密測量;半導(dǎo)體光刻機,LDI曝光、涂布等工藝環(huán)節(jié);也可以用于:涂膠顯影機,電子束曝光;液晶等離子面板制造等各個行業(yè)領(lǐng)域,佳以特冷熱設(shè)備有限公司為客戶量身定制,OEM服務(wù)。
詳細資料請聯(lián)系:;王先生
1、光刻機專用空調(diào)機
2、涂膠顯影專用空調(diào)機
3、LDI曝光機專用空調(diào)機
測試結(jié)果:溫濕度控制曲線照片:
備注:綠色線為監(jiān)控曲線,紅色線為出風(fēng)溫度曲線
備注:綠色線為監(jiān)控曲線,紅色線為出風(fēng)溫度曲線