為什么無(wú)塵車(chē)間／潔凈室一定要用除濕機(jī)加濕機(jī)

　　近年，在我們的各行業(yè)里都對(duì)空氣的相對(duì)濕度有嚴(yán)格的規(guī)定，使我們必需在無(wú)塵車(chē)間配置除濕機(jī)、加濕機(jī)。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢(qián)用在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中控制相對(duì)濕度呢？道理很簡(jiǎn)單！讓我們先來(lái)了解下什么叫無(wú)塵車(chē)間：

　　無(wú)塵車(chē)間指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　濕度控制是無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。

　　因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：

　　1、細(xì)菌生長(zhǎng)；

　　2、工作人員感到室溫舒適的范圍；

　　3、出現(xiàn)靜電荷；

　　4、金屬腐蝕；

　　5、水汽冷凝；

　　6、光刻的退化；

　　7、吸水性。

　　細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

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